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日本理音RION KL-05光滲透粒子計(jì)數(shù)器RION/日本理音液體粒子計(jì)數(shù)器，可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計(jì)數(shù)器的使用是為了控制化學(xué)品中的粒子，如半導(dǎo)體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料，超純水和清洗用化學(xué)劑比如堿，有機(jī)溶劑和氫氟酸。另外，也可檢測化學(xué)機(jī)械拋光中大粒徑的研磨液，測試方法包括在線和
日本理音RION KL-05光滲透粒子計(jì)數(shù)器
RION/日本理音液體粒子計(jì)數(shù)器，可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計(jì)數(shù)器的使用是為了控制化學(xué)品中的粒子，如半導(dǎo)體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料，超純水和清洗用化學(xué)劑比如堿，有機(jī)溶劑和氫氟酸。另外，也可檢測化學(xué)機(jī)械拋光中大粒徑的研磨液，測試方法包括在線和離線測試。
可檢測化學(xué)機(jī)械拋光中大粒徑的研磨液，測試方法包括在線和離線測試。
光源 鐳射二極管(波長:790nm,額定輸出:4.5mW)
接觸樣品的部件材料 毛細(xì)管：人造石英；取樣管：硼硅玻璃、PTFE；
取樣泵：Kel-F(PCTFE) 、PTFE; 管路接頭：PFA、PTFE、PCTFE、Perflo；
流量 25ml/min（10 ml/分鐘為工廠定制）
測量范圍 可任意選自1-20個(gè)通道 , 1.3~100μm （0.1μm的間隔）
最多粒子數(shù)量 10000顆/ml（誤差值低于10%）
電源 100V-240V AC,50/60Hz 80VA
尺寸.重量 366(H) X 360(W) X 236 (D) mm,大約:10kg
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