RION/日本理音液體粒子計數(shù)器，可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計數(shù)器的使用是為了控制化學品中的粒子，如半導(dǎo)體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料，超純水和清洗用化學劑比如堿，有機溶劑和氫氟酸。另外，也可檢測化學機械拋光中大粒徑的研磨液，測試方法包括在線和離線測試。

特點優(yōu)勢

光源 激光二極管泵/固態(tài)晶振鐳射(波長:532nm,額定輸出:500mW)

鐳射材料 藍寶石,PFA

流量 10ml/分鐘

粒徑范圍(4通道) ≥0.05µm,≥0.1µm,≥0.15µm,≥0.2µm標配

可選通道 1-10個通道,由控制器設(shè)定,設(shè)定范圍:0.05~0.2µm

粒子數(shù)量 15000顆/ml

電源 DC12V(由KE-40B1供應(yīng))

尺寸.重量 147×272×442mm,大約:12kg