RION/日本理音液體粒子計數(shù)器，可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計數(shù)器的使用是為了控制化學品中的粒子，如半導體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料，超純水和清洗用化學劑比如堿，有機溶劑和氫氟酸。另外，也可檢測化學機械拋光中大粒徑的研磨液，測試方法包括在線和離線測試。

特點優(yōu)勢

測量范圍 2通道;   ≥0.2μm; ≥0.5μm

最多粒子數(shù)量 1200顆/ml（誤差值低于5%）

技術參數(shù)

光源 鐳射二極管(波長:780nm,額定輸出:40mW)

部分材料 KL-28B:人造石英,PFA、PTEF

KS-16F:藍寶石,PFA、PTEF (可測氫氟酸)

流量 測試流量10ml/分鐘

測量范圍 2通道 ; ≥0.2μm; ≥0.5μm

最多粒子數(shù)量 1200顆/ml（誤差值低于5%）

電源 由KE-28B供應，100V AC,23VA

尺寸.重量 70(H)  X  85(W) X 118 (D) mm,大約:0.6kg

控制器 KE-28B（專用于KL-28B/KL-28BF）